適用製品
スパッタ粒子防着板及びイオンビームスパッタ装置
目的
複数のスパッタターゲットを切り替えてスパッタする際、スパッタ粒子の回り込み再付着を防止できるスパッタ粒子防着板及びイオンビームスパッタ装置を提供する。
効果
複数のスパッタターゲットを切り替えてスパッタする際、スパッタ粒子の回り込み再付着を防止することができる。
技術概要
複数のスパッタターゲットを保持するターゲットホルダユニットを回転軸により回転させ、選択した前記スパッタターゲットにイオンビームを照射するイオンビームスパッタ装置用のスパッタ粒子防着板であって、
前記ターゲットホルダユニットを内部に収容し、選択した前記スパッタターゲットを露出させる開口部が形成された上面と側面と下面とを有する箱状の筐体を有し、
前記筐体は、前記開口部を除いて前記ターゲットホルダユニットの周囲を覆っており、前記回転軸が挿通する側面と前記上面と前記下面とで第１筐体及び第２筐体に二分され、
前記第１筐体及び前記第２筐体が結合して前記筐体となると共に、前記筐体が前記第１筐体及び前記第２筐体に分離するように、前記第１筐体及び前記第２筐体の少なくとも一方を移動させる移動機構、を備え、
前記開口部は、前記第１筐体及び前記第２筐体に亘っており、前記第１筐体及び前記第２筐体が結合して前記筐体となったときに、前記開口部の内周と選択した前記スパッタターゲットの外周との隙間を遮蔽するように形成されていることを特徴とするスパッタ粒子防着板。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
