目的
中空を有する立体構造物の中空の内面に一括してリソグラフィを施すことが可能な内面露光装置を提供する。
効果
中空を有する立体構造物の中空の内面に一括してリソグラフィを施すことが可能な内面露光装置を提供できる。
技術概要
中空を有する被露光物の前記中空の内面を露光する内面露光装置であって、
光源と、
前記光源と前記被露光物との間に配置する露光用マスクと、
前記中空内に配置され、前記露光用マスクを透過した前記光源からの光が前記中空の内面へ反射可能な反射面を有する反射ミラーと、
前記反射ミラーを保持する反射ミラー保持部と、
前記被露光物を支持する被露光物ステージと、
を備える、内面露光装置。
基本情報
開放特許情報
)
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