目的
柱状又は筒状の立体構造物の外面に不規則なパターンを一括して露光可能な露光装置を提供する。
効果
柱状又は筒状の立体構造物の外面に不規則なパターンを一括して露光可能な露光装置を提供できる。
技術概要
スペックル光を用いて被露光物の外面を露光する露光装置であって、
コヒーレント光を発する光源と、
前記光源の光軸上に配置する光拡散部材と、
前記光軸上に前記光拡散部材よりも前記光源から離間した位置に配置し、光軸に対して回転軸対称でありかつ前記光源から視て凹面状とされた部分を有する反射面を備える回転軸対称反射ミラーと、
前記被露光物を光軸に沿って保持可能な被露光物保持部と、を備える、露光装置。
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開放特許情報
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