適用製品
固体基板、その製造方法、および固体装置の製造方法
目的
ダイヤモンド、炭化ケイ素などの炭素を主たる構成元素とする固体基板の表面における高温処理でのダメージを防ぎ、更にその固体基板からの熱輻射を黒体輻射とする。
効果
炭素を主たる構成元素とする基板の表面における高温処理でのダメージを抑制でき、更にその基板からの熱輻射を黒体輻射とすることが可能となる。
技術概要
炭素を主たる構成元素とする固体が少なくとも第１主表面に形成されている固体基板の前記第1主表面上に１００ｎｍ以上１００μｍ以下の厚さのグラッシーカーボンが形成された、固体基板。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
