アライメント方法

開放特許情報番号：L2024000928 開放特許情報登録日：2024/4/24 最新更新日：2024/4/24

基本情報

出願番号

公開番号

出願日

2022/9/12

公開日

2024/3/25

出願人

国立研究開発法人情報通信研究機構

権利化状況

権利化前

発明の名称

アライメント方法

開放特許情報

技術分野

電気・電子

機能

機械・部品の製造

適用製品

アライメント方法

目的

高い精度で，対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供する。

効果

高い精度で，対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供できる。

技術概要

透明基板上に設けられた第１の透明基板上マークと，第１の対象物上に設けられ，前記第１の透明基板上マークと対応したマークである第１の対象物マークとのアライメントを取りつつ，前記透明基板に，前記第１の対象物を吸着させるための工程である第１の吸着工程を含む，アライメント方法。

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

否

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報