目的
合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現可能な加工方法及び加工装置を提供する。
効果
合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現することができる。
技術概要
砥粒を含む研磨スラリーに、紫外光を照射し、かつ、オゾンガスを供給して、研磨定盤に設けた所定の研磨パッドに前記研磨スラリーを滴下すると共に、前記所定の研磨パッドを被加工物と接触させた状態で変位させる工程を備える
加工方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
