機能
制御・ソフトウェア
機械・部品の製造
検査・検出
目的
試料の導入量によらず、安定した分析結果を得ることができる分析装置および分析方法を提供する。
効果
試料の導入量によらず、安定した分析結果を得ることができる分析装置および分析方法を提供できる。
技術概要
対象ガスにおける対象元素の濃度または物質量を測定する測定部と、
測定された前記対象元素の濃度または物質量を用いて希釈ガスの流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部が算出した流量に従って前記希釈ガスの流量を制御することにより、前記対象ガスを希釈する希釈部と、
希釈された前記対象ガスが導入され、前記対象ガスにおける前記対象元素の同位体分析を行う同位体分析部とを備える
分析装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
