適用製品
補償光学系及びこの光学系を備えた光学装置
目的
観察対象と揺らぎ層との距離や観察対象の大きさにかかわらず、従来よりも精度よく波面位相収差を補正することができ、更に従来よりも補正範囲の広い補償光学系及び光学装置を提供する。
効果
観察対象と揺らぎ層とが近接している場合や観察対象が微小である場合でも、高精度かつ広範囲にわたって波面位相収差を補正することができる。
技術概要
入射光に対して収差補正を行い補正後の光を出射する波面位相変調器と、
前記波面位相変調器により形成されるゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置を試料内において自在に調整する結像共役位置調整機構と、を有し、
前記結像共役位置調整機構により、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、結像共役になるように調整され、
前記波面位相変調器と前記試料との間には、前記結像共役位置調整機構として、前記試料側から順に、対物レンズ及び少なくとも１枚のリレーレンズが配置され、
前記対物レンズと前記少なくとも１枚のリレーレンズとの光学的な距離を変更すること、前記少なくとも１枚のリレーレンズと前記波面位相変調器との光学的な距離を変更すること、及び／又は前記少なくとも１枚のリレーレンズが少なくとも２枚のリレーレンズから構成されて、前記少なくとも２枚のリレーレンズの光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整し、
前記試料内に存在する揺らぎ層には、位相収差の誤差を発生させる揺らぎ要素が存在している、補償光学系。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
