適用製品
レーザー媒質と透明伝熱部材を接合したレーザー部品と、そのレーザー部品を製造する方法と、そのレーザー部品を利用するレーザー装置
目的
レーザー媒質と透明伝熱部材の少なくとも一方が酸化物であり、既知の表面活性接合技術では、高強度レーザーに利用できるほどに透明な接合界面を得ることができないという問題を解決する。
効果
レーザー媒質と透明伝熱部材の接合界面での透明性が低下することを防止できる。また、その前工程を経ると、レーザー媒質と透明伝熱部材がアモルファス層を介して安定的に接合し、接合信頼性が向上する。
技術概要
少なくとも一方が酸化物であるレーザー媒質と透明伝熱部材を接合したレーザー部品の製造方法であり、
前記レーザー媒質の接合面と前記透明伝熱部材の接合面の双方を酸素プラズマに晒し、
次いで、真空雰囲気中で、前記接合面の双方に不活性ガスの原子ビームを照射し、照射後の前記接合面の双方を重ね合わせて表面活性接合する、レーザー部品の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
