目的
対向する一対の基板の平行度が高められ、大型の基板でも安定した接合を達成する接合装置および接合方法を提供する。
効果
対向する一対の第一基板と第二基板との平行度を高めることができ、大型の基板でも平行度を容易に確保して安定した接合を達成することができる。
技術概要
第一基板と、前記第一基板と別体の第二基板とを、前記第一基板および前記第二基板の表面を活性化することにより接合する接合装置であって、
軸方向の一方の端部に前記第一基板を保持する第一保持部と、
前記第一保持部と対向して設けられ、前記第二基板を保持する第二保持部と、
自在継手部を挟んで前記第一保持部と一体に接続されている接続保持部と、
前記第一保持部および前記接続保持部を一体に、前記第二保持部に対して接近または離間する方向へ駆動する駆動機構部と、
前記第一保持部に設けられ、前記第一保持部から径方向外側へ突出している鍔形状部と、
前記接続保持部に設けられ、軸方向において両側から前記鍔形状部を挟み込み、前記鍔形状部を収容する収容部と、
前記接続保持部に設けられ、前記第一保持部の軸方向において前記鍔形状部の一方の面に接し、前記鍔形状部を軸方向へ押し付ける押付部材と、
前記接続保持部において前記鍔形状部を挟んで前記押付部材と反対側に設けられ、前記第一保持部の軸方向において前記鍔形状部の他方の面に接し、前記押付部材によって押し付けられる前記鍔形状部を支持する支持部材と、
を備える接合装置。
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登録者情報
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