適用製品
光誘起キャリヤライフタイム測定装置及び光誘起キャリヤライフタイム測定方法
目的
半導体基体のバルクキャリヤライフタイム及び表面再結合速度を精度良く測定することが可能な光誘起キャリヤライフタイム測定装置及び光誘起キャリヤライフタイム測定方法を提供する。
効果
バルクキャリヤライフタイム及び表面再結合速度を精度良く測定することができる。
半導体基体のバルクキャリヤライフタイム及び表面再結合速度の両方を、一方を仮定することなく測定することができる。
半導体基体のバルクキャリヤライフタイムの深さ分布及び表面再結合速度の両方を、一方を仮定することなく測定することができる。
実効キャリヤライフタイムの測定値を精度よく求めることができる。
技術概要
半導体基体に発生した光誘起キャリヤの実効キャリヤライフタイムを測定する光誘起キャリヤライフタイム測定装置において、
前記半導体基体に対して、光誘起キャリヤを発生させるための波長の異なる少なくとも２種類の連続光を照射する光照射部と、
前記半導体基体に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記半導体基体を透過したマイクロ波の強度を検出する検出部と、
前記検出部で検出されたマイクロ波強度に基づき実効キャリヤライフタイムを算出する演算部とを含み、
前記演算部が、
前記少なくとも２種類の連続光を照射したときに検出されたマイクロ波強度に基づいて、前記少なくとも２種類の連続光の波長毎の実効キャリヤライフタイムを算出し、算出した前記波長毎の実効キャリヤライフタイムに基づき前記半導体基体のバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度とを算出する、光誘起キャリヤライフタイム測定装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
