適用製品
インデンテーションマッピング装置及びインデンテーションマッピング方法
目的
ハイスループットなインデンテーションマッピング装置及びインデンテーションマッピング方法を提供する。
効果
ハイスループットなインデンテーションマッピング装置及びインデンテーションマッピング方法を提供することができる。
技術概要
試料表面に押し込まれる圧子と、
前記圧子の押し込み位置としての探索点を決定する制御部と、
前記圧子に作用する圧縮荷重及び前記圧子の押し込み深さを測定する測定部と、
前記探索点及び前記測定部が測定した測定結果を含むマッピングデータを記憶する記憶部と、を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記マッピングデータに基づいてベイズ最適化を行い次回の前記探索点を決定するインデンテーションマッピング装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
