目的
実用に足る計測精度で計測電界の空間分布を取得することのできる電界計測方法及び電界センサを提供する。
効果
実用に足る計測精度で計測電界の空間分布を取得することのできる電界計測方法及び電界センサが実現される。
技術概要
非線形光学効果を利用して被計測部が発する電界を計測対象電界として求める電界計測方法であって、
前記被計測部に照射するための入射レーザを、前記被計測部が配置されるとともに前記入射レーザの進行方向に略直交して所定長さに亘って延在する集光領域に集光させ、
前記被計測部から発せられる透過光から計測対象の非線形光を抽出し、
抽出した前記非線形光の強度に基づいて前記計測対象電界を演算し、
前記入射レーザの強度が所定の強度下限値以上であって且つ強度上限値以下となる第１強度条件を満たすように、計測パラメータを調節し、
前記強度下限値は、前記被計測部に照射された前記入射レーザが前記非線形光に変換される効率としての変換効率を一定値以上とする観点から定められ、
前記強度上限値は、計測空間中のプラズマの発生を抑制する観点から定められる、
電界計測方法。
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