目的
エンドエフェクタの位置決め精度を向上させることができる検査装置を提供する。
効果
エンドエフェクタの位置決め精度を向上させた検査装置を提供することができる。
技術概要
腕の角度変化に対して腕先の角度を維持するロバーバル機構を備える下腕部と、
前記下腕部の腕先である下腕腕先部の第1軸線周りに回転可能に前記下腕腕先部に取り付けられる関節部と、
前記関節部の前記第1軸線とは方向が異なる第2軸線周りに回転可能に前記関節部に取り付けられる上腕部と、
前記関節部に対する前記第2軸線周りの前記上腕部の回転角度に応じて、前記下腕腕先部に対する前記第1軸線周りの前記関節部の回転角度を変化させる角度調整部と、
前記上腕部を介して支持される非接触音響センサと、
音を収音する収音部と、
を備える検査装置。