適用製品
光電変換膜積層型固体撮像素子とその駆動方法
目的
電荷増倍型光電変換膜の膜厚が画素毎に変化するような状況においても、電荷増倍率を一定の値に制御することが可能な光電変換膜積層型固体撮像素子とその駆動方法を提供する。
効果
光電変換膜中の電荷をリセットする電圧を調整することによって感度を調整することができ、各画素間で光電変換膜の厚みが異なることによって生じる、画素毎の光電変換膜の電荷増倍率のばらつきを抑制することができる。
このようにして得られたリセットレベルに基づいて、正味の信号レベルを算出するようにしているので、高精度の画素信号を得ることができる。
技術概要
電荷増倍型光電変換膜で発生した電荷を画素毎に蓄積する電荷蓄積手段と、
電荷蓄積手段を所定のリセット電圧値でリセット処理する蓄積電荷リセット手段と、
蓄積電荷リセット手段によりリセット処理がなされた際の蓄積電荷量であるリセットレベルと、このリセット処理がなされた後の所定期間経過後の蓄積電荷量である信号レベルとを、画素毎に電荷蓄積手段から読み出す電荷読出手段と、
電荷読出手段により読み出された、画素毎の、リセットレベルと信号レベルとの差分処理を行って、画素信号として出力する差分処理手段と、
画素各々へ入射する入射光の光量が等しいときに、画素各々から出力される電荷量が互いに等しくなる、画素毎のリセット電圧値を導出し得るように、画素各々と画素のリセット電圧値との関係を記憶した画素-リセット電圧値関係記憶手段と、
蓄積電荷リセット手段に対し、画素-リセット電圧値関係記憶手段に記憶された関係に基づき、指定された画素各々に応じたリセット電圧値を、所定のリセット電圧値として設定されるように指示する電圧印加指示手段と、を備えたことを特徴とする光電変換膜積層型固体撮像素子。