目的
生成された負イオンの損失を抑制するとともに十分な負イオン生成面積を確保し、結果として高い負イオン生成効率を達成可能な負イオン源及び負イオン生成方法を提供する。
効果
熱電子放出物質における熱電子の生成が従来よりも格段に促進され、かつ生成された負イオンの損失も抑制されるため、負イオンの生成効率を大幅に向上させることが可能になる。
技術概要
試料が導入される導入口と、前記導入口と連通し、放電によりプラズマが生成されるプラズマ生成領域と、生成された前記プラズマと前記試料との反応により解離または励起した粒子が負イオン化される負イオン生成領域と、前記負イオン生成領域と連通し、前記生成された負イオンが外部に引き出される引出口と、を備える筐体を有し、
前記負イオン生成領域には、加熱により熱電子を生成する熱電子放出物質が充填されている、
ことを特徴とする負イオン源。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
