適用製品
六ホウ化ランタン微粒子（ＬａＢ６）の製造方法、スパッタリングターゲット、電子材料
目的
スパッタリングターゲットとして用いられる六ホウ化ランタン焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さな六ホウ化ランタン微粒子及びその製造方法、並びにこの六ホウ化ランタン微粒子を用いた六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜及び有機半導体デバイスを提供する
効果
スパッタリングターゲットとして用いられる六ホウ化ランタン焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さな六ホウ化ランタン微粒子及びその製造方法、並びにこの六ホウ化ランタン微粒子を用いた六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜及び有機半導体デバイスを提供する
技術概要
本発明は、六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）微粒子の製造方法、六ホウ化ランタン微粒子、六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜及び有機半導体デバイスに関し、さらに詳しくは、スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さな六ホウ化ランタン微粒子を製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で粒径の小さな六ホウ化ランタン微粒子、この微粒子を用いて作製される六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜並びに有機半導体デバイスに関するものである。
基本情報
開放特許情報
登録者情報
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