適用製品
六ホウ化ランタン微粒子（ＬａＢ６）の製造方法、スパッタリングターゲット、電子材料
目的
スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子を提供する
効果
スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子を提供する
技術概要
六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）微粒子の製造方法及びＬａＢ6微粒子に関し、さらに詳しくは、スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子に関するものである。
基本情報
開放特許情報
登録者情報
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