目的
高密度のプラズマを形成し、マイクロ波の漏洩が抑制されたマイクロ波プラズマ源を提供する。
効果
高密度のプラズマを形成し、マイクロ波の漏洩が抑制されたマイクロ波プラズマ源が提供される。
技術概要
マイクロ波プラズマ源において、筒状磁石部は、第１開口端と第２開口端とを有する。第１開口端は、第１極性を有し、第２開口端は、第２極性を有する。筒状体は、筒状磁石部に囲まれる。第１磁気回路部は、第１開口端を閉塞する。第２磁気回路部は、第１磁気回路部に対向配置される。第２磁気回路部は、第１開口部を有する。アンテナは、第１磁気回路部を貫通し、空間に導入され、空間にマイクロ波電力を供給する。ノズル部は、第１開口部よりも開口面積が小さく第１開口部に連通する第２開口部を有する。筒状体の内径をａ（ｍｍ）、空間に供給されるマイクロ波電力のマイクロ波遮断波長をλ（ｍｍ）としたときに、マイクロ波プラズマ源は、λ＞３．４１×（ａ／２）の関係式を満たすように構成される。
基本情報
開放特許情報
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