目的
蒸発して得られたナノ粒子が水素吸蔵合金から生成したものである場合に水素の拡散性がよくなり、また基板に捕集されたナノ粒子が再凝集化することを防止できる粒子膜積層装置及びこれを用いた粒子膜積層方法を提供する。
効果
ナノ粒子が層状に整列されて成膜されるので、水素吸蔵合金からナノ粒子を生成した場合に、ナノ粒子が積層されたものを水素センサとして利用すれば水素の拡散性がよくなる。また、ナノ構造体膜でナノ粒子膜を挟んで担持した積層体は、ナノ粒子がナノ粒子状態のまま安定しているので、粒成長を引き起こすことが防止される。
技術概要
加熱されるべき金属材料が配設され、前記金属材料のナノ粒子が生成するナノ粒子生成室と、
加熱されるべき樹脂材料が配設され、前記樹脂材料のナノ構造体が生成するナノ構造体生成室と、
前記ナノ粒子生成室及び前記ナノ構造体生成室とそれぞれ粒子連通管及び構造体連通管を介して接続され、基板に対して前記ナノ粒子及び前記ナノ構造体を成膜して積層する積層室と、
該成膜室内で前記ナノ粒子が成膜されるナノ粒子成膜領域と、
前記成膜室内で前記ナノ構造体が成膜されるナノ構造体成膜領域と、
前記基板を前記ナノ粒子成膜領域と前記ナノ構造体成膜領域との間を移動させる移動ユニットと、
前記積層室を排気する排気ユニットと、
前記ナノ粒子生成室及び前記ナノ構造体生成室にそれぞれ冷却ガスを導入する冷却ガス導入ユニットとを備えたことを特徴とする粒子膜積層装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
