適用製品
溶媒移動浮遊帯域溶融法による透明な単結晶の製造方法、透明な単結晶及び製造装置
目的
従来のＩＲ−ＦＺ法では困難であったクラックを低減した状態で透明な単結晶を育成することができる、溶媒移動浮遊帯域溶融法による透明な単結晶の製造方法、透明な単結晶及び製造装置を提供する。
効果
赤外線集中加熱浮遊帯域溶融法による透明な単結晶の製造方法が提供される。
技術概要
赤外線集中加熱浮遊帯域溶融法による透明な単結晶の製造方法であって、
赤外線照射装置による集中加熱により原料棒と種結晶との間に溶融帯を形成して、前記種結晶上に前記透明な単結晶を成長させる成長工程を含み、
前記赤外線照射装置は、前記溶融帯に光源から赤外線を照射する装置であり、前記光源と前記溶融帯の集光点とを結ぶ前記赤外線の照射方向が、鉛直方向と直交する水平面に対し鉛直方向下方から上方に向けての方向であることを特徴とする、
透明な単結晶の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
