薄板保持具

開放特許情報番号：L2023000872 開放特許情報登録日：2023/7/13 最新更新日：2023/7/13

基本情報

出願番号

公開番号

登録番号

出願日

2014/10/21

公開日

2016/5/16

出願人

信越ポリマー株式会社

特許権者

信越ポリマー株式会社

権利化状況

権利化済

発明の名称

薄板保持具

開放特許情報

技術分野

電気・電子

機能

その他

適用製品

半導体チップ、半導体ウェーハ等の薄板

目的

薄板が破損することのない薄板保持具の提供

効果

スペーサ部をエラストマーで形成することにより、押圧された際、部分的に押圧されることがない為、保持中に薄板が破損しない

技術概要

スペーサ部をエラストマーで形成することで、ウェーハのバックグラインド時等、押圧下で薄板を処理する際、スペーサ部分とその周囲とで押圧が生じないよう、粘着保持層とスペーサのデュロメータA硬度の差が０～３０の範囲の粘着タイプの薄板保持具

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

可

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報