適用製品
表面応力センサーの受容体層クリーニング方法
目的
薄膜の表面に設けられた受容体層により引き起こされた薄膜の表面応力の変化を検出する表面応力センサーにおける受容体層のクリーニングを、表面応力センサーの構造の変更を最小限に抑えつつ、簡単かつ効率的に行う。
効果
ピエゾ抵抗を利用した検出を行うタイプ等の表面応力センサーの効率的なクリーニングを、構造の複雑化を可能な限り回避しながら簡単に実行することができる。
技術概要
薄膜の表面に設けられた受容体層により引き起こされた前記薄膜の表面応力の変化を検出する表面応力センサーにおいて、
前記薄膜の少なくとも一部の表面領域を発熱させる、
表面応力センサーの受容体層のクリーニング方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
