水素センサー及び水素検出方法

開放特許情報番号：L2023000684 開放特許情報登録日：2023/6/16 最新更新日：2023/6/16

基本情報

出願番号

公開番号

WO2020/179400

登録番号

出願日

2020/2/14

公開日

2020/9/10

出願人

国立研究開発法人物質・材料研究機構

特許権者

国立研究開発法人物質・材料研究機構

権利化状況

権利化済

発明の名称

水素センサー及び水素検出方法

開放特許情報

技術分野

情報・通信

機能

検査・検出

適用製品

水素センサーを使用した水素検出方法

目的

感度を向上させることにより測定データのＳ／Ｎ比や特に低濃度域での測定結果の安定性を向上させる。

効果

簡単な構成かつ低コストでありながら、高感度で低ヒステリシス特性を有する水素センサー及びこの水素センサーを使用した水素検出方法が提供される。

技術概要

膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として非晶質のパラジウム－銅－シリコン合金薄膜を設けた水素センサー。

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

否

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報