目的
表面応力センサなどの、基準ガスと試料ガスとを複数サイクルに渡って交互に切り替えながら測定を行うガスセンサにおいて、試料ガス中に含まれる可能性のある水蒸気などの特定のガスの影響を排除または軽減する。
効果
従来の測定装置に最小限の追加・修正を行うだけで試料ガス中の水蒸気等の特定のガスの影響を大きく低減することができる。
技術概要
基準ガスと測定対象である試料ガスとを切り替えながら測定を行うガスセンサによる測定方法において、
前記基準ガスと前記試料ガスの少なくとも一方は特定のガスを含む可能性があり、
前記ガスセンサ中のセンサ素子に供給される前記基準ガス中の前記特定のガスの濃度と前記試料ガス中の前記特定のガスの濃度とを平衡させる、
ガスセンサによる測定方法。
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