目的
波長域の選択性に優れて２以上の波長域の光の情報を波長域毎に独立して取得可能とし、感度および解像度が高く、信号の読出し特性が良好な撮像素子を提供する。
効果
波長域の選択性に優れて２以上の波長域の光の情報を波長域毎に独立して取得可能であり、感度および解像度が高く、信号の読出し特性が良好であり、簡易に製造することができる撮像素子が得られる。
技術概要
１以上の波長域の光を吸収して電荷に変換し、かつ前記波長域と異なる１以上の波長域の光を透過させる第１の光電変換層と、前記第１の光電変換層が変換した電荷を電気信号として出力させる第１の読出回路と、前記第１の光電変換層を透過した１以上の波長域の光を吸収して電荷に変換する第２の光電変換層と、を上から順に備え、さらに前記第２の光電変換層が変換した電荷を電気信号として出力させる第２の読出回路を前記第１の読出回路よりも下方に備え、複数の波長域を含む光を上から入射される撮像素子であって、
前記第１の光電変換層は、耐熱温度が３００℃未満の材料を含有し、両面を透明電極膜で挟まれ、
前記第１の読出回路は、電子移動度が５ｃｍ↑2／Ｖ・ｓ以上の半導体材料で形成された薄膜トランジスタを備え、
前記第２の光電変換層は、耐熱温度が３００℃以上の材料からなり、
前記第１の光電変換層の受光面から前記第２の光電変換層の受光面までの距離が１０μｍ以下であることを特徴とする撮像素子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
