目的
真空を破ることなく電子ビームの照射位置を調整するナノワイヤエミッタを備えた電子銃およびそれを用いた電子機器を提供する。
効果
エミッタ設置後であっても、真空を破ることなく、電子ビームの微妙な照射位置を調整でき、ナノワイヤエミッタの表面を清浄に維持できる。
技術概要
電子ビームを端部より発するナノワイヤエミッタと、
第１の球冠状のシェルと第２の球冠状のシェルとを備えるステージであって、前記第１の球冠状のシェルが前記ステージに固定されており、前記第２の球冠状のシェルが前記固定された第１の球冠状のシェルに対して摺動するよう重ねられており、前記重ねられた第１の球冠状のシェルと第２の球冠状のシェルの凹面側および凸面側は、それぞれ、真空および大気に晒され、前記ナノワイヤエミッタは、前記端部が前記凹面側になるように前記ステージに取り付けられる、ステージと、
真空と大気とを仕切り、伸縮部を介して前記ステージを保持するハウジングと
を備える、電子銃。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
