適用製品
電流電圧特性の測定方法、測定装置、品質管理方法および製造方法
目的
簡便かつ高精度に界面抵抗、バルク抵抗を分離計測できる測定方法および装置を提供する。
効果
バルク抵抗が高い試料でも、またオーミック接触を形成できない試料でも、電極と試料との界面における電気特性を高い精度で測定できる測定方法および装置を提供することが可能になる。
また、高い精度で界面電気特性を把握したことをフィードバックして、製品の品質を高める品質管理方法および製造方法を提供することが可能になる。
技術概要
直線状に第１探針、第２探針、第３探針、第４探針、第５探針および第６探針が順番に配置された探針セットを有し、
以下のステップ（Ａ）から（Ｅ）を、電流値ｉ↓ｊ（ｊは１からｎまでの整数）を変えて行う、電流電圧特性の測定方法。
（Ａ）前記第２探針と前記第５探針の間に電流ｉ↓ｊを印加して、前記第２探針と前記第３探針、前記第２探針と前記第４探針、前記第２探針と前記第５探針のそれぞれの電位Ｖ↓３（ｉ↓ｊ）、Ｖ↓４（ｉ↓ｊ）、Ｖ↓５（ｉ↓ｊ）を測定する。
（Ｂ）前記第１探針と前記第５探針の間に電流ｉ↓ｊを印加して、前記第２探針と前記第３探針の電位Ｖ↓２３（ｉ↓ｊ）を測定する。
（Ｃ）前記第２探針と前記第６探針の間に電流ｉ↓ｊを印加し、前記第４探針と前記第５探針の電位Ｖ↓４５（ｉ↓ｊ）を測定する。
（Ｄ）Ｖ↓２′（ｉ↓ｊ）＝Ｖ↓３（ｉ↓ｊ）−Ｖ↓２３（ｉ↓ｊ）を計算する。
（Ｅ）Ｖ↓５′（ｉ↓ｊ）＝Ｖ↓５（ｉ↓ｊ）−Ｖ↓４（ｉ↓ｊ）−Ｖ↓４５（ｉ↓ｊ）を計算する。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
