適用製品
試料接合体を用いた観測対象ガスの観測装置及び試料接合体を用いた観測対象イオンの観測方法
目的
非接触で試料の観測領域に所望の応力を生じさせることが可能な試料接合体を提供する。
効果
温度調節部により試料接合体を所望の温度に調節することで、試料の観測領域に所望の応力を生じさせることができるので、試料接合体を用いて、試料の観測領域に非接触で所望の応力を生じさせた状態で観測対象イオンを検出することが可能である。
技術概要
裏面に観測対象ガスを接触させた状態で表面の観測領域に電子線を照射して生じる観測対象イオンを観測する試料と、
前記試料と異なる熱膨張率を有し、前記観測領域に対応する位置に開口部を有する補助板と、で構成され、
前記試料と前記補助板とが積層状態で接合された、試料接合体。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
