適用製品
水素透過検出のための試料及びその製造方法
目的
確実にチャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供する。
効果
確実にチャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供することができる。
技術概要
板状の試料の背面から透過した水素原子あるいは当該試料の材料内部から湧出した水素原子を、走査型電子顕微鏡の走査電子により電子遷移誘起で励起させて水素イオンを脱離させ、該脱離した水素イオンのＥＳＤ像を、前記走査型電子顕微鏡の電子線の走査に同期して取得する、水素透過検出のための試料であって、
表面領域に局所的に配設された絶縁領域を備えた試料本体と、
前記試料本体の絶縁領域を含む表面全体に亘って配設された水素透過性を備えた導電性薄膜と、
を備える、水素透過検出のための試料。
基本情報
開放特許情報
)
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