目的
熱耐性の無い材料との強磁性交換結合を高い生産効率で実現でき、各種微細加工プロセスに適用できる強磁性交換結合素子及びその製造方法を提供する。
効果
熱耐性の無い材料との強磁性交換結合を高い生産効率で実現でき、各種微細加工プロセスに適用できる強磁性交換結合素子及びその製造方法を提供できる。
技術概要
強磁性材料からなる第１強磁性層と、
前記第１強磁性層上に形成され、非磁性金属からなる非磁性金属層と、
前記非磁性金属層上に形成され、酸化物又は窒化物からなるバッファ層と、
前記バッファ層上に形成され、強磁性材料からなる第２強磁性層と、を有し、
前記第１強磁性層と前記第２強磁性層が、強磁性交換結合されており、
前記第２強磁性層は、前記第１強磁性層上に形成され、ＧｄからなるＧｄ層と、前記Ｇｄ層上に形成され、ＧｄＦｅ合金からなるＧｄＦｅ合金層と、の２層からなる強磁性交換結合素子。
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