目的
ニッケル基合金の熱遮蔽コーティング等において、予備酸化処理によって安定なＡｌ↓２Ｏ↓３を生成、成長させるのに好適な、酸素分圧を制御できる加熱酸化炉を提供する。
ニッケル基合金の熱遮蔽コーティング等において、予備酸化処理によって安定なＡｌ↓２Ｏ↓３を生成、成長させるのに好適な、酸素分圧を制御できる加熱酸化炉に用いて好適な、酸化速度測定装置を提供する。
効果
加熱酸化炉によれば、Ａｌ↓２Ｏ↓３単相の予備酸化処理を施したＮｉ−２５ａｔ％Ａｌ合金は、通常の酸化処理を施したＮｉ−２５ａｔ％Ａｌ合金や、未処理のＮｉ−２５ａｔ％Ａｌ合金に比して優れた耐酸化特性を得ることが可能となる。
酸化速度測定装置によれば、導入するガスの酸素分圧を第１及び第２の酸素ポンプ・センサーによって制御するで、酸化速度の制御が可能となる。
技術概要
所定濃度の酸素を含有する雰囲気ガスを用いて、酸化処理対象となる試料を酸化処理温度で酸化処理する酸化炉と、
水蒸気を含有する供給ガスを用いて、前記酸化炉に対して、前記雰囲気ガスの酸素濃度を前記所定濃度に維持するのに必要な酸素を供給する第１の酸素ポンプ・センサーと、
前記酸化炉内の前記試料の周囲環境に存在する前記雰囲気ガスの酸素濃度を測定する酸素センサーと、
を備える酸素分圧の精密制御を可能とする加熱酸化炉。
基本情報
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