目的
トレーサ粒子などによるパーティクル汚染がなく、簡便にしかもリアルタイム計測が可能なパッシブ型の気流計測方法およびそのための装置を提供する。
効果
トレーサ微粒子などによるパーティクル汚染がなく、簡便にしかもリアルタイム計測が可能なパッシブ型の気流計測方法およびそのための装置が提供される。
技術概要
波長が3μm以上5μm以下の赤外光用の結像光学系と、
前記赤外光を電気信号に変換する光電変換層を有する赤外光感知素子からなる画素素子が、マトリックス状に配置された画像センサーを使用し、
前記赤外光を、前記結像光学系を介して前記画像センサー上に結像させ、
前記結像の二酸化炭素(CO↓2)の濃度に基づく濃淡像を用いて気流を計測する、気流計測方法。