適用製品
多様なガス種に対する高感度な検知能力を維持しつつ、水素の識別を新たに可能にするガスセンサ
目的
広範なガス種に対する高感度な検知能力を維持しつつ、水素の識別を新たに可能にするガスセンサを提供する。
効果
界面のスイッチング特性が雰囲気中の水素に敏感なため、ショットキー電極とオーミック電極間の抵抗をバイアス方向の間で比較することで、抵抗応答の極性の違いとして水素を明確に識別することが出来る。この抵抗応答は、電極界面での抵抗と、被検ガスの表面吸着によって変化する酸化物半導体材料での抵抗の合算なので、水素以外にも、半導体ガスセンサによって検出される多種多様なガスを同様に検出することができる。
技術概要
ショットキー電極とオーミック電極のペアを有する金属酸化物半導体基板と、
前記ショットキー電極とオーミック電極に正電圧と負電圧のバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電圧印加手段により印加される正電圧と負電圧のバイアス電圧における前記ショットキー電極とオーミック電極間の抵抗を測定する抵抗値比較手段と、
前記抵抗値比較手段により測定された抵抗値を用いて、前記金属酸化物半導体基板の前記ショットキー電極とオーミック電極に位置する検知表面と接触する被検ガスが、水素ガスであるか、水素ガス以外の還元性ガス、又は酸化性ガスかを選択する被検ガス識別手段と、
を備えることを特徴とするガスセンサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
