適用製品
紫外発光ダイオードおよびそれを備える電気機器
目的
光取出し効率ηLEEを高めるためのDUVLEDを提供し、高効率のDUVLEDの実現に寄与する。
効果
p型コンタクト層による吸収が抑制され光取出し効率ηLEEを高めた紫外発光ダイオードが実現される。
技術概要
単結晶のサファイアまたはAlN結晶の基板と、
該基板に接して、または該基板上に設けられた追加のバッファー層に接して配置され、少なくともn型導電層、再結合層、およびp型導電層が該基板の側からこの順に積層して配置されているAlNとGaNの混晶の紫外発光層と、
前記p型導電層に電気的に接続しているAlNとGaNの混晶のp型コンタクト層と、
前記紫外発光層から発せられる280nm以下の主要波長をもつ紫外線である放射UVに対する反射性金属膜からなる反射電極であって、前記p型コンタクト層に直にまたはオーミックコンタクトのための挿入金属層を介して接して配置される反射電極と
を備えており、
前記p型コンタクト層の前記AlNとGaNの混晶の材質にさらにInが含まれており、
前記p型コンタクト層の材質が、前記放射UVの主要波長に比べ短い波長を組成波長としてもつようにされている紫外発光ダイオード。