適用製品
検査対象物内に存在する対象成分の濃度を求める技術
目的
検査対象物内の各深さ又は所望の特定深さにおける対象成分の濃度を非破壊的に求めることができる装置と方法を提供する。
効果
各深さ又は所望の特定深さにおける対象成分の濃度を非破壊的に求めることができる。
技術概要
検査対象物の表面へ中性子線を照射する中性子源と、
前記検査対象物において前記中性子線により発生したガンマ線のうち対象成分に由来の特定ガンマ線を検出して、該特定ガンマ線の検出量を求めるガンマ線検出装置と、
前記検出量に基づいて、検査対象物における各深さ又は特定深さの対象成分の濃度を求める濃度算出装置と、を備え、
検査対象物を仮想的に複数の層に区分した場合に、前記複数の層における対象成分の複数の濃度と前記検出量との関係を表す関係式が、特定ガンマ線の種類毎に又は検出条件毎に予め定められて前記濃度算出装置に保持されており、
前記濃度算出装置は、各前記種類又は各前記検出条件に対してガンマ線検出装置が求めた前記検出量を、当該種類又は検出条件に対応する前記関係式に適用することにより連立方程式を生成し、該連立方程式を解くことにより、各深さ又は特定深さにおける前記層の前記濃度を算出する、濃度検出装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
