目的
所定の微細形状又はパターニングされた状態に成膜できる酸化物の膜の形成方法の提供。
効果
所定の微細形状にあるいは微細にパターニングされた酸化物の成膜に対して融点が高く、水による潮解性に優れたａ−ＣａＯの堆積膜を水リフトオフ法の犠牲層に用いたので、精密に制御された選択成長膜を形成することができる。
技術概要
基板の表面にフォトレジスト材料を用いて所定の微細形状又はパターニングされたフォトレジスト層を形成するステップと、
前記表面にａ−ＣａＯ膜を形成するステップと、
次に溶剤に浸漬し前記フォトレジスト層を有する部分を除去するステップと、
次に前記表面に酸化物の膜を成長させるステップと、
次に水に浸漬して前記ａ−ＣａＯ膜を有する部分を除去するステップとを有することを特徴とする微細加工された酸化物の膜の形成方法。
基本情報
開放特許情報
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