目的
走査速度の高速化を図った走査型イオンコンダクタンス顕微鏡の提供。
効果
プローブの先端部を試料表面に対して垂直方向のＺ方向制御手段として、退避モード，ホッピングモード及びトレースモードにそれぞれ対応させた３つのアクチュエータを設けたので、連続的な計測走査の高速化を図ることができる。
技術概要
試料を保持する試料ステージと、
プローブを保持するプローブ保持手段とを備え、
前記試料の表面と前記プローブの先端部との相対的な水平方向の位置を制御するＸＹ方向制御手段と、
前記試料の表面と前記プローブの先端部との垂直方向の距離を制御するＺ方向制御手段とを有し、
前記Ｚ方向制御手段はプローブの先端部を試料表面に対して退避制御するための退避モードアクチュエータと、
プローブの先端部を試料表面に対してホッピング動作するためのホッピングモードアクチュエータと、
プローブの先端部を試料表面に対してトレース動作するためのトレースアクチュエータとを有することを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
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