目的
微小電流の計測性能の向上を図ることで、走査速度の高速化を可能にした走査型イオンコンダクタンス顕微鏡（ＳＩＣＭ）の提供。
効果
プローブを保持及び位置制御するプローブ保持手段の近傍、又は一体的に微小のイオン電流等の微小電流計測器を設けたので、電極と微小電流計測器との間の容量成分による応答の遅延や、ノイズによる影響を小さく抑えることができるので、試料の走査速度を向上させることができる。
技術概要
試料を保持する試料ステージと、
前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、
前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器を備え、
前記微小電流計測器は前記プローブ保持手段と一体的に又はその近傍に設けられていることを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
基本情報
開放特許情報
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