機能
機械・部品の製造
材料・素材の製造
接着・剥離
目的
基板に対して保護膜を効率良く形成できる保護膜形成装置を提供する。
効果
基板に対して保護膜を効率良く形成できる保護膜形成装置を得ることができる。
技術概要
接着剤からなる保護膜を基板上に形成する保護膜形成装置で、
成形板は、基板からはみ出すように設けられ、
成形板と基板とを、対向、且、離隔位置と、圧着位置との間で相対移動可能に保持する治具と、
治具に保持された成形板と基板とを、圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせ、成形板と基板との間の接着剤を硬化させる硬化部を有する貼合部と、
成形板と基板との間の接着剤が硬化された成形板と基板とを、離隔位置に相対移動させて、成形板から接着剤が硬化した保護膜が形成された基板を剥離する剥離部と、
複数の治具を支持し、いずれかの治具に保持された成形板と基板との貼合部による貼り合わせと、他の治具に保持された成形板と基板との剥離とを並行して実行可能となるように、治具の貼合部への搬送と貼合部から剥離部への搬送とを実行する搬送部と、
を有し、
剥離部は、圧着された成形板と基板との間の接着剤が硬化した
成形板と基板とを離隔位置に相対移動させる際に、成形板を離隔位置に弾性支持する弾性部材と、基板の成形板よりはみ出した領域を押さえて、基板を成形板に対して引き離す方向に移動させる剥離具とを備える
保護膜形成装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
