目的
保護膜の形成領域内に孔が設けられていない基板であっても、保護膜が形成された基板を得ることのできる保護膜形成装置を提供する。
効果
保護膜の形成領域内に孔が設けられていない基板であっても、保護膜が形成された基板を得ることのできる保護膜形成装置を得ることができる。
技術概要
接着剤を介在させて成形板と基板とを貼り合わせて接着剤からなる保護膜を成形する保護膜形成装置であって、
接着剤は、紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂または乾燥させて硬化する樹脂であり、
成形板の接着剤と接する面は、基板よりも接着剤に対する接着力が弱く、
基板は、接着剤が塗布される塗布領域と、接着剤が塗布されない未塗布領域とが設けられ、
塗布領域に接着剤が塗布された状態の基板が載置されるステージと、
ステージを、当該ステージに対向して位置する成形板に対して進退させる基板駆動機構と、
基板駆動機構によって成形板に対して接着剤を介して貼り合わされた基板の未塗布領域を押さえる押さえ部材と、押さえ部材を成形板に対して引き離す方向に沿って移動させる移動機構を有し、移動機構によって基板を、成形板に対して引き離す方向に移動させることで、保護膜を成形板から剥離する剥離ユニットと、
を備え、
押さえ部材はステージにおける基板の載置面に直交する方向に延びるロッドであり、
ロッドの先端は丸みを帯びている又は傾斜していること、
を特徴とする保護膜形成装置。
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登録者情報
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