適用製品
塗布装置、塗布方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法
目的
接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布できる塗布装置、塗布方法を提供し、さらに、高い貼り合せ品質の表示装置用部材を高い効率で製造する製造装置及び製造方法を提供する。
効果
接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布できる。
技術概要
ワークに接着剤を塗布する塗布ノズルと、
塗布ノズルによる塗布対象となるワークを支持しながら、塗布ノズルに対して相対移動するステージと、
ステージに支持されたワークの接着剤を塗布する面に対向して設けられ、距離を検出するセンサと、
を有し、
距離を検出するセンサは、
ステージが塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、塗布ノズルの下流側に配置され、センサからステージに設けられた校正部までの距離及びワークの表面までの距離を検出する第１のセンサと、
ステージが塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、塗布ノズルの上流側に配置され、センサからステージに設けられた、第１のセンサと共通の校正部までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離を検出する第２のセンサと、
を有し、
第１のセンサにより検出された校正部までの距離及びワークの表面までの距離と、第２のセンサにより検出された校正部までの距離及び接着剤の表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する塗布厚検出部を有することを特徴とする塗布
装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
