目的
小型かつ高出力の熱電変換装置および電子装置を提供する。
効果
小型かつ高出力な熱電変換装置および電子装置を提供することができる。
技術概要
第1熱電薄膜および第2熱電薄膜の表面に平行な第1方向に交互に設けられた互いに反対の導電型を有する第1熱電薄膜および第2熱電薄膜と、
第1熱電薄膜と第2熱電薄膜との間において第1熱電薄膜および第2熱電薄膜と電気的および熱的に接続され、第1方向に交互に設けられた第1接続層および第2接続層と、
第1接続層および第2接続層にそれぞれ熱的に接続し表面に交差する第2方向に延伸する第1熱伝導層および第2熱伝導層と、
を具備し、
第1熱伝導層および第2熱伝導層は、第1熱電薄膜および第2熱電薄膜の表面に対し互いに反対側に設けられており、
第1熱伝導層が貫通し第1熱伝導層より熱伝導率の小さな固体の第1絶縁体と、
第2熱伝導層が貫通し第2熱伝導層より熱伝導率の小さな固体の第2絶縁体と、
第1熱伝導層および第2熱伝導層にそれぞれ熱的に接続する第1基部および第2基部と、
を具備し、
第1基部および第1絶縁体は、第1熱伝導層の間において第1溝を有し、
第2基部および第2絶縁体は、第2熱伝導層の間において第2溝を有することを特徴とする熱電変換装置。