目的
ゲッター作用によって排気を行い、排気能力が大きくかつ使用寿命の長い真空部品を提供する。
効果
ゲッター作用によって排気を行い、最大捕獲分子数が多くかつ使用寿命の長い真空部品を得ることができる。
技術概要
チタン（Ｔｉ）によるゲッター効果による排気能力を有する真空部品であって、
厚さが１００μｍ以上でありＴｉを含むＴｉ層を具備する真空容器を具備し、
表面にＴｉ酸化物が形成されない前記Ｔｉ層、
又は
前記Ｔｉ層の上に直接形成された、厚さが１ｎｍ以下、又は表面酸素濃度が２０ａｔｏｍｉｃ％以下とされたＴｉ酸化物層、
が前記真空容器の内面に露出した状態とされて、排気する対象となる真空チャンバを排気することを特徴とする真空部品。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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