目的
安定した稼働を実現でき、気泡やゴミ等の混入がなく、高い精度での貼り合せが可能な貼合装置及びその制御方法を提供する。
また、ターンテーブルを用いて、ワークの位置決めと貼り合せを効率良く行うことができるとともに、安価で小型の貼合装置及びその制御方法を提供する。
効果
安定した稼働を実現でき、気泡やゴミ等の混入がなく、高い精度での貼り合せが可能な貼合装置及びその制御方法を提供することができる。
また、ターンテーブルを用いて、ワークの位置決めと貼り合せを効率良く行うことができるとともに、安価で小型の貼合装置及びその制御方法を提供することができる。
技術概要
表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせる貼合装置において、
複数のポジションに応じて間欠回転するターンテーブルと、
前記ターンテーブルに複数設けられ、一対のワークを保持する保持装置と、
前記保持装置に設けられ、一対のワークの少なくとも一方を位置決めする位置決め部と、
前記保持装置における一対のワークの少なくとも一方を付勢することにより、一対のワークを貼り合わせる押圧装置と、
を有し、
前記押圧装置は、前記位置決め部におけるワークを保持する部分を収容可能な真空チャンバを有し、
前記真空チャンバ内の圧力に応じた電圧値を出力する真空計と、
電圧値と、これに対応する圧力値を算出するための複数の多項近似式とを記憶した記憶部と、
前記記憶部に記憶した電圧値及び多項近似式に基づいて、前記真空計からの電圧値に対応する多項近似式を選択する式選択部と、
選択された多項近似式に基づいて、圧力値を算出する圧力演算部と、
を有することを特徴とする貼合装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
