目的
熱から電力への変換特性をさらに向上可能な熱電変換素子及び当該熱電変換素子の製造方法を提供する。
効果
熱から電力への変換特性をさらに向上可能な熱電変換素子及び当該熱電変換素子の製造方法が提供される。
技術概要
シリコン(Si)及び第1金属元素を含む第1半導体材料により形成され、第1導電型である第1半導体部材と、
シリコン(Si)及び第2金属元素を含む第2半導体材料により形成され、第2導電型である第2半導体部材と、
前記第1半導体部材を前記第2半導体部材に電気的に接続する連結電極と、
前記第1半導体部材に接続された第1出力電極と、
前記第2半導体部材に接続された第2出力電極と、を備え、
前記第1半導体部材は、前記シリコン(Si)及び前記第1金属元素を含むナノシートが積層されたナノシート構造体を有し、
前記ナノシートは、前記シリコン(Si)及び前記第1金属元素が交互に積層された超格子構造を含む、熱電変換素子。