適用製品
三酸化モリブデン膜の製造方法、及びこの製造方法を含む化学センサの製造方法
目的
三酸化モリブデン膜を基板に簡便かつ迅速に形成でき、汎用性が高い無電解めっき浴、三酸化モリブデン膜の製造方法、及び化学センサの製造方法を提供する。
効果
三酸化モリブデン膜を基板に簡便かつ迅速に形成でき、汎用性が高いので、従来よりも無電解めっきによる三酸化モリブデン膜の優れた生産性を実現することができる。
技術概要
触媒が付された基板を浸漬させて、この基板に三酸化モリブデン膜を被覆するための無電解めっき浴であって、
モリブデン酸リチウム及びモリブデン酸ナトリウムの少なくとも一方と、
ジメチルアミンボランと、
硝酸と、
アルコールと、
蒸留水と、
を含有し、
前記モリブデン酸リチウム及び前記モリブデン酸ナトリウムの少なくとも一方は、0.01モル/L以上0.5モル/L以下で、
前記ジメチルアミンボランは、0.001モル/L以上0.1モル/L以下で、
前記硝酸は、0.05モル/L以上0.1モル/L以下で、
前記アルコールは、70容量%以上90容量%以下で、
前記蒸留水は、10容量%以上30容量%以下である
ことを特徴とする無電解めっき浴。