目的
簡素な構成で、駆動部の位置が変動しても、一定の加圧力を維持することができる貼合装置及び貼合方法を提供する。
効果
簡素な構成で、駆動部の位置が変動しても、一定の加圧力を維持可能な貼合装置及び貼合方法を提供することができる。
技術概要
一対のワークを貼り合わせる貼合装置において、
少なくとも一方のワークを付勢する加圧ヘッドと、
前記加圧ヘッドによって一対のワークを貼り合わせる空間を密閉する真空チャンバと、
前記真空チャンバに接続され、その内部を真空引き可能な減圧装置と、
前記真空チャンバに支持され、前記加圧ヘッドに加圧力を加える駆動部と、
前記真空チャンバ内の減圧前から、減圧を経て大気開放までの間において、前記一対のワークの他方に対する前記加圧ヘッドの加圧力の変化を、直接又は間接に判定する判定部と、
前記判定部による判定に基づいて、前記駆動部による加圧力を制御する制御部と、
を有することを特徴とする貼合装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
