適用製品
流体圧エネルギーにより進行波(後退波)を生成する面状アクチュエータ、これを用いた搬送装置及び移動装置、並びに製造方法
目的
押出力が大きい面状アクチュエータ、搬送装置、移動装置及び製造方法を提供する。
効果
面状アクチュエータの押出力運動は各室の膨張、非膨張に伴う進行波(後退波)に各室の仕切シートの屈曲/伸張動作が加わるので、面状アクチュエータの押出力を大きくできる。また、面状アクチュエータ内の室間へのチューブ挿入は不要となるので、製造工程を簡略化でき、従って、製造コストを低減できる。
技術概要
下側シートと上側シートとの間にあって、前記下側シートと前記上側シートとの間の距離を変更するための複数の仕切シートによって区分されて第1の方向に延在する複数の室を前記第1の方向と異なる第2の方向に並列に配置した面状アクチュエータであって、
前記第2の方向のN(Nは2以上の整数)個置き毎の前記室によって(N+1)個の室グループを構成し、
前記各室グループ毎に大気圧より大きい正圧の正圧状態、前記大気圧より小さい負圧の負圧状態に制御するための(N+1)個の圧力制御ユニットを具備する面状アクチュエータ。