目的
試料の歪みの少ない画像を取得可能な光学顕微鏡を提供する。
効果
試料を歪みの少ない画像を取得することができる。
技術概要
試料に入射する照射光を出射する光源と、
試料が載置される載置面を有する試料基板と、
載置面に載置された試料に照射光を照射すると共に、照射光が照射された試料から検出光が入射する第１光学素子と、
試料を覆う凹部が形成され、第１光学素子から入射する照射光を試料に出射すると共に、試料から入射する検出光を第１光学素子に出射する第２光学素子と、
第１光学素子から出射する検出光により形成される試料の画像を撮像する撮像装置と、を有し、
第２光学素子は、
球面状の形状を有し、第１光学素子から照射光が入射すると共に、検出光を第１光学素子に出射する第１入出射面と、
凹部の壁部の少なくとも一部を含み、第１入出射面に入射する照射光を試料に出射すると共に、試料から入射する検出光を前記第１入出射面に出射する第２入出射面と、を有し、
凹部と載置面により形成される空間は、液体が充填可能である、ことを特徴とする光学顕微鏡。
基本情報
開放特許情報
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